廢氣經特殊的高能、高臭氧UV紫外線照射，經預處理后的廢氣送至光氧源廢氣處理裝置，再由風機送出。使有機或無機大氣味化合物鏈，在高能紫外光束照射下，光氧根催化廢氣處理設備與臭氧反應生成低化合物，如CO2、H2O。投資成本低，應用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩定，占地面積小，運行成本低，無二次污染。

　　一些廢氣生產過程中廢氣可能反映了惡臭,附著力,耐高溫,高濕度,將廢氣不能完全這樣的條件,在高于80℃的條件下光學氧設備光源效率只有50%的40℃,如果morohology粘在墻上的光,光會沒有辦法發送,沒有照明設備,沒有凈化處理功能,所以在前面的光氧氣體處理廠設置水噴霧冷卻,和粗過濾器作為預處理器,以確保引入由原風扇抽搐的配套廢氣粉塵中含有的氧氣混合到廢氣處理裝置時的光有效地攔截過濾器。

　　利用fetor和有機廢氣中某些物質易溶于水的特點，光氧根催化廢氣處理設備使fetor和有機廢氣成分直接與水接觸，從而溶解在水中進行去除。適用于水溶性、有組織的排放源氣味、有機廢氣。工藝簡單，管理方便，設備運行成本低，但產生二次污染，需用洗滌液處理;凈化效率低，應與其他技術相結合使用，單一使用有機廢氣處理效果差。因此，將噴水與光催化氧化廢氣處理技術相結合，是處理含高溫、高粘滯排放的有機廢氣及惡臭氣體、粉塵的有效方法。